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클린룸 및 제어된 환경 — 제2부:클린룸 성능 확인을 위한 입자 농도 모니터링
| 분야 | 환경(I) > 대기 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 표준에서는 공기 부유 입자 농도를 측정하거나 영향을 주는 매개변수를 기준으로, 입자 농도에 의한 공기 청정도 관련 클린룸 또는 청정 구역 성능에 대한 모니터링 계획의 최소 요구사항을 지정 한다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
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| 국제표준 부합화 |
ISO 14644-2:2015(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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| 고시기관(고시번호) | 국가기술표준원 (제2017-0635 호) | ||||||||
| 고시사유 | 국제표준(ISO) 개정내용 반영 | ||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 16 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
KS I ISO 14644-2(2022 확인)  |
클린룸 및 제어된 환경 — 제2부:클린룸 성능 확인을 위한 입자 농도 모니터링 | 2022-12-21 | 확인(표준) | 5년도래 확인표준 | |
| KS I ISO 14644-2 |
클린룸 및 제어된 환경 — 제2부:클린룸 성능 확인을 위한 입자 농도 모니터링 | 2017-12-26 | 개정(구판) | 국제표준(ISO) 개정내용 반영 | |
| KS I ISO 14644-2(2012 확인) |
클린룸 및 관련된 제어환경-제2부: KS M ISO 14644-1의 지속적인 등급 유지를 위한 시험 및 모니터링 규격 | 2012-12-27 | 확인(구판) | ||
| KS I ISO 14644-2 |
클린룸 및 관련된 제어환경-제2부: KS M ISO 14644-1의 지속적인 등급 유지를 위한 시험 및 모니터링 규격 | 2007-10-31 | 개정(구판) | ||
| KS I ISO 14644-2 |
클린룸 및 관련된 제어 환경－제2부：KS M ISO 14644－1의 지속적인등급 유지를 위한 시험 및 모니터링 규격 | 2002-08-30 | 제정(구판) | ||
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
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| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | KS I ISO 14644-1 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제1부: 입자 농도에 의한 공기 청정도 등급분류 | 2022-12-21(확인) | 한글 | 39,600원 | ||
인용표준 2종 이상 선택 시 20% 할인 |
총 0종 선택 |
0원 0원 |
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KS I ISO 14644-8 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제8부: 화학물질 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류 상세보기
KS I ISO 14644-10 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류 상세보기
KS I ISO 14644-9 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제9부:부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류 상세보기
KS I ISO 14644-15 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제15부: 공기 중 화학물질 농도에 따른 사용 장비 및 자재 적합성 평가 상세보기
KS I ISO 14644-13 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제13부: 입자 및 화학물질 등급 분류에 따른 청정도 달성을 위한 표면 세정 상세보기
KS I ISO 14644-1 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제1부: 입자 농도에 의한 공기 청정도 등급분류 상세보기
KS I ISO 14644-3(2016 확인) - 클린룸 및 관련된 제어 환경－제3부：시험 방법 상세보기
KS I ISO 14644-4(2017 확인) - 클린룸 및 관련된 제어환경-제4부: 설계, 공사 및 조업 개시 상세보기
KS I ISO 14644-6 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제6부: 용어 상세보기
KS I ISO 14644-14 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제14부: 공기 부유 입자 농도에 따른 장비 적합성 평가 상세보기
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