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클린룸 및 제어된 환경 — 제13부: 입자 및 화학물질 등급 분류에 따른 청정도 달성을 위한 표면 세정
| 분야 | 환경(I) > 환경일반 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 표준은 클린룸 표면 및 클린룸 내의 장비와 자재 표면을 지정된 등급으로 세정하기 위한 가이드라인을 제공한다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Cleanrooms and associated controlled environments — Part 13: Cleaning of surface to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
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| 국제표준 부합화 |
ISO 14644-13:2017(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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| 고시기관(고시번호) | 국가기술표준원 (제2019-0107호) | ||||||||
| 고시사유 | 국제표준 부합화에 따른 표준화 | ||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 37 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
KS I ISO 14644-13  |
클린룸 및 제어된 환경 — 제13부: 입자 및 화학물질 등급 분류에 따른 청정도 달성을 위한 표면 세정 | 2019-06-13 | 제정(표준) | 국제표준 부합화에 따른 표준화 | |
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
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| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | KS I ISO 14644-10 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류 | 2019-03-13(개정) | 한글 | 31,600원 | ||
| 2 | KS I ISO 14644-8 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제8부: 화학물질 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류 | 2019-03-13(개정) | 한글 | 27,900원 | ||
| 3 | KS I ISO 14644-9 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제9부:부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류 | 2019-03-13(개정) | 한글 | 31,600원 | ||
인용표준 2종 이상 선택 시 20% 할인 |
총 0종 선택 |
0원 0원 |
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KS I ISO 14644-8 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제8부: 화학물질 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류 상세보기
KS I ISO 14644-10 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류 상세보기
KS I ISO 14644-9 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제9부:부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류 상세보기
KS I ISO 14644-15 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제15부: 공기 중 화학물질 농도에 따른 사용 장비 및 자재 적합성 평가 상세보기
KS I ISO 14644-12 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제12부: 나노스케일 입자 농도에 따른 공기 청정도 모니터링을 위한 요구사항 상세보기
KS I ISO 14644-14 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제14부: 공기 부유 입자 농도에 따른 장비 적합성 평가 상세보기
KS I ISO 14644-15 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제15부: 공기 중 화학물질 농도에 따른 사용 장비 및 자재 적합성 평가 상세보기
KS I ISO 14644-10 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류 상세보기
KS I ISO 14644-8 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제8부: 화학물질 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류 상세보기
KS I ISO 14644-9 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제9부:부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류 상세보기
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