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표면 화학 분석－X선 광전자 분광기－에너지 눈금의 교정
| 분야 | 금속(D) > 분석 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 규격은 일반적인 분석 목적으로 단색화되지 않은 Al 또는 Mg X선 또는 단색화된 Al X선을 사용하는 X 선 광전자 분광기의 에너지 눈금의 교정 방법에 대하 여 규정한다. 이 규격은 스퍼터 세정(sputter cleaning)을 위한 이온총(ion gun)이 설치되어 있는 장비에만 적용한다. 이 규격은 더 나아가서 교정 계 획의 수립 방법, 중간 정도의 어떤 에너지에서 결합 에너지 눈금의 선형성 시험 방법, 에너지 눈금 교정 의 불확도를 낮은 에너지 한 곳과 높은 에너지 한 곳 에서 확인하는 방법, 이 눈금의 작은 표류(small drift)를 고치는 방법, 그리고 신뢰 수준 95 %에서 결합 에너지 눈금의 확장 교정 불확도를 정의하는 방 법을 각각 규정한다. 이 불확도에는 실험실 간의 비 교 연구에서 관찰된 작동 상태에 영향을 미친 것들 이 포함된다. 그러나 발생할 수 있는 모든 결함을 포 함하지는 않는다. 에너지가 커짐에 따라 결합 에너 지 눈금의 오차가 상당히 비선형적으로 되는 기기, 감속률이 10미만에서 일정한 감속 모드로 작동하는 기기, 분광기의 분해능이 1.5 eV 미만인 기기, ± 0.03 eV 이하의 공차 한계를 필요로 하는 기기에는 이 규격을 적용할 수 없다. 이 규격은 에너지 눈금 의 지시 가능한 각 점에서 측정된 에너지를 확인하 고, 기기 제작사가 추천하는 절차에 따라 진행되어 야 하는 상세한 교정 점검 방법은 규정하지 않는다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Surface chemical analysis－X-ray photoelectron spectrometers－Calibration of energy scales | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
71.040.40 : 화학 분석 |
||||||||
| 국제표준 부합화 |
ISO 15472:2001(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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| 고시기관(고시번호) | (제03-1238 호) | ||||||||
| 고시사유 | |||||||||
| KS심사기준 |
|
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| 페이지수 | 26 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
KS D ISO 15472(2023 확인)  |
표면화학분석 -X선 광전자 분광기 - 에너지 눈금의 교정 | 2023-06-30 | 확인(표준) | 5년도래 확인표준 | |
| KS D ISO 15472(2018 확인) |
표면화학분석 -X선 광전자 분광기 - 에너지 눈금의 교정 | 2018-12-04 | 확인(구판) | 5년도래 확인표준 | |
| KS D ISO 15472(2013 확인) |
표면화학분석 -X선 광전자 분광기 - 에너지 눈금의 교정 | 2013-12-19 | 확인(구판) | ||
| KS D ISO 15472(2008 확인) |
표면화학분석 -X선 광전자 분광기 - 에너지 눈금의 교정 | 2008-12-31 | 확인(구판) | ||
| KS D ISO 15472 |
표면 화학 분석－X선 광전자 분광기－에너지 눈금의 교정 | 2003-10-06 | 제정(구판) | ||
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
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| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
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