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분야 | |
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적용범위 | Classification systems, Decontamination, Environmental cleanliness, Conformity, Air cleaning equipment, Clean rooms |
국제분류(ICS)코드 | 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
페이지수 | 20 |
Edition |
No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
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1 | BS EN ISO 14644-2:2015 - TC | Tracked Changes. Cleanrooms and associated controlled environments. Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration. | 2020-02-24 | 표준 |
2 | BS EN ISO 14644-2:2015 | Cleanrooms and associated controlled environments. Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration. | 2016-01-31 | 표준 |
3 | BS EN ISO 14644-2:2000 | Cleanrooms and associated controlled environments. Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1. | 2000-12-15 | 폐지 |
BS EN ISO 14644-1:1999 - Cleanrooms and associated controlled environments. Classification of air cleanliness. 상세보기
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