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반도체 제조장비의 안전지침
| 분야 | 전기전자(C) > 반도체·디스플레이 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 표준은 반도체의 제조(공정), 측정, 조립 및 시험을 위한 반도체 제조장비와 관련된 기계류의 전기 및 전자장비에 적용된다. 비고 1 이 표준에서 전기라 함은 전기, 전자 모두를 포함한다(예：전기 장비라 함은 전기 및 전자 장비 모두를 의미). 비고 2 이 표준의 문맥상, 사람(person)이라 함은 당해 기계의 사용 및 관리를 맡은 대리인 또는 사 용자에 의하여 지정되어 교육받은 사람(들)을 말한다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Safety guideline for semiconductor fabrication equipment | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
31.080 : 반도체 장비 |
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| 국제표준 부합화 |
IEC 60204-33:2009(MOD) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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| 고시기관(고시번호) | (제2015-0680 호) | ||||||||
| 고시사유 | |||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 119 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
KS C IEC 60204-33(2020 확인)  |
반도체 제조장비의 안전지침 | 2020-10-13 | 확인(표준) | 5년도래 확인표준 | |
| KS C IEC 60204-33(2015 확인) |
반도체 제조장비의 안전지침 | 2015-12-31 | 확인(구판) | ||
| KS C IEC 60204-33 |
반도체 제조장비의 안전지침 | 2010-09-10 | 제정(구판) | ||
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
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| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | KS B ISO 12100-2 | 기계 안전－설계를 위한 기본 개념 및 일반 원칙－제2부：기술적 원칙 | 2016-03-01(폐지) | 한글 | 0원 | 폐지 | |
| 2 | KS B ISO 13849-1 | 기계 안전－제어 시스템의 안전 관련 부품－제1부：설계의 일반 원칙 | 2021-09-03(확인) | 한글 | 72,600원 | ||
| 3 | KS B ISO 13851 | 기계안전 — 양수제어장치 — 설계와 선택 원칙 | 2023-12-26(개정) | 한글 | 31,600원 | ||
| 4 | KS C 6702 | 레이저 제품의 방사 안전 기준 | 2013-12-31(폐지) | 한글 | 0원 | 폐지 | |
| 5 | KS C IEC 60034-11 | 회전기기 제11부 : 내장 열보호기 | 2023-05-16(확인) | 한글 | 12,800원 | ||
| 6 | KS C IEC 60073 | 인간-기계 인터페이스(MMI), 표시와 식별을 위한 기본과 안전 원칙 — 표시기와 작동기를 위한 코딩 원칙 | 2022-07-26(개정) | 한글 | 31,600원 | ||
| 7 | KS C IEC 60364-4-41 | 저압 전기설비－제4-41부：안전을 위한 보호－감전에 대한 보호 | 2020-12-29(개정) | 한글 | 34,600원 | ||
| 8 | KS C IEC 60364-4-43 | 저압 전기설비 — 제4-43부: 안전을 위한 보호 — 과전류에 대한 보호 | 2022-05-18(개정) | 한글 | 31,600원 | ||
| 9 | KS C IEC 60446 | 인력-기계 인터페이스,마킹과 식별자를 위한 안전 원리－색이나 수에 의한 도체의 식별자 | 2016-12-02(폐지) | 한글 | 0원 | 폐지 | |
| 10 | KS C IEC 60529 | 외함의 밀폐 보호등급 구분(IP코드) | 2022-12-27(개정) | 한글 | 42,600원 | ||
| 11 | KS C IEC 60950-1 | 정보기술기기의 안전성 —제1부: 일반 요구사항 | 2020-12-15(개정) | 한글 | 212,100원 | ||
| 12 | KS C IEC 61000-6-2 | 전기자기적합성(EMC) - 제6-2부 : 일반기준 - 산업 환경에서 사용하는 기기의 전기자기내성 기준 | 2017-12-29(폐지) | 한글 | 0원 | 폐지 | |
| 13 | KS C IEC 61000-6-4 | 전기자기적합성(EMC) ? 제6-4부: 일반기준 ? 산업용 환경에서 사용하는 기기의 전기자기장해 기준 | 2017-12-29(폐지) | 한글 | 0원 | 폐지 | |
| 14 | KS C IEC 61010-1 | 측정, 제어 및 실험실용 전기 장비의 안전 요구사항 — 제1부: 일반 요구사항 | 2023-07-28(확인) | 한글 | 117,500원 | ||
| 15 | KS C IEC 61032 | 외함에 의한 인체 및 장치 보호 — 검증용 프로브 | 2024-09-20(확인) | 한글 | 25,000원 | ||
| 16 | KS C IEC 61310-1 | 기계류의 안전성 — 지시, 표시 및 작동 — 제1부: 시각, 청각 및 촉각 신호에 대한 요구사항 | 2022-12-27(개정) | 한글 | 25,000원 | ||
| 17 | KS C IEC 61310-2 | 기계류의 안전성 — 지시, 표시 및 작동 — 제2부: 표시에 대한 요구사항 | 2022-12-27(개정) | 한글 | 18,000원 | ||
| 18 | KS C IEC 61310-3 | 기계류의 안전성 — 지시, 표시 및 작동— 제3부: 액추에이터의 위치 및 조작에 대한 요구사항 | 2024-05-24(확인) | 한글 | 18,000원 | ||
| 19 | KS C IEC 61558-1 | 변압기, 리액터, 전원 공급 장치 및 그 조합의 안전 — 제1부: 일반요구사항 및 시험 | 2022-12-27(개정) | 한글 | 135,400원 | ||
| 20 | KS C IEC 61558-2-6 | 변압기, 리액터, 전원 공급 장치 및 그 조합의 안전 — 제2-6부: 범용 안전 절연 변압기를 포함한 안전 절연 변압기 및 전원 공급 장치에 대한 특정 요구사항 및 시험 | 2022-12-27(개정) | 한글 | 18,000원 | ||
| 21 | KS C IEC 61800-5-1 | 가변속 전력 구동 시스템－제5－1부：안전 요구 사항－전기, 열 및 에너지 | 2020-12-24(확인) | 한글 | 36,700원 | ||
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