관심표준 등록 : 표준업데이트 시 알림을 받을 수 있습니다.
PDF : 직접 파일 다운로드 및 인쇄 (마이페이지 확인)
PRINT : 인쇄본 우편발송, 2~3일 소요(PDF파일 미제공)
구판
판매
표면 화학 분석－전반사 X-선 형광(TXRF) 분광기에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 원소 불순물 측정
| 분야 | 금속(D) > 분석 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 규격은 기계화학적으로(chemomechanically) 연마 하거나 에피택셜(epitaxial) 실리콘 웨이퍼 표면의 원자 원소 오염의 원자 표면 밀도의 측정을 위한 TXRF 방법에 대하여 규정한다. 이 방법은 다음에 적용할 수 있다. －원자 번호 16(S)에서 92(U)까지 －오염 원소의 원자 표면 밀도가 1×1010atoms/cm2에 서 1×1014atoms/cm2까지 －VPD(vapour-phase decomposition) 시료 조제법(3.4 를 참조)을 사용하는 경우 오염 원소의 원자 표면 밀 도가 5×108atoms/cm2에서 5×1012atoms/cm2까지 | ||||||||
| 표준명(영어) | Surface chemical analysis－Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence(TXRF) spectroscopy | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
71.040.40 : 화학 분석 |
||||||||
| 국제표준 부합화 |
ISO 14706:2000(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
||||||||
| 고시기관(고시번호) | (제03-1709 호) | ||||||||
| 고시사유 | |||||||||
| KS심사기준 |
|
||||||||
| 페이지수 | 19 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
KS D ISO 14706(2023 확인)  |
표면화학분석 - 전반사 X - 선 형광분석기에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면원소 불순물 측정 | 2023-06-30 | 확인(표준) | 5년도래 확인표준 | |
| KS D ISO 14706(2018 확인) |
표면화학분석 - 전반사 X - 선 형광분석기에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면원소 불순물 측정 | 2018-12-04 | 확인(구판) | 5년도래 확인표준 | |
| KS D ISO 14706(2013 확인) |
표면화학분석 - 전반사 X - 선 형광분석기에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면원소 불순물 측정 | 2013-12-19 | 확인(구판) | ||
| KS D ISO 14706(2008 확인) |
표면화학분석 - 전반사 X - 선 형광분석기에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면원소 불순물 측정 | 2008-03-21 | 확인(구판) | ||
| KS D ISO 14706 |
표면 화학 분석－전반사 X-선 형광(TXRF) 분광기에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 원소 불순물 측정 | 2003-12-29 | 제정(구판) | ||
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
|||||
| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 검색된 결과가 없습니다. | |||||||
인용표준 2종 이상 선택 시 20% 할인 |
총 0종 선택 |
0원 0원 |
|||||
관련상품이 존재하지 않습니다.
IEC TS 63134:2020 - Active assisted living (AAL) use cases 상세보기
IEC 60034-5:2020 RLV - Rotating electrical machines - Part 5: Degrees of protection provided by the integral design of rotating electrical machines (IP code) - Classification 상세보기
KS B ISO TS 25740-1 - 에스컬레이터 및 무빙워크에 대한 안전요건 — 제1부: 세계공통 필수 안전요건(GESRs) 상세보기
KS B ISO TS 8100-21 - 승객 및 화물 운송용 엘리베이터 —제21부: 세계공통 필수안전요건(GESRs)을 충족하는 세계공통 안전 파라미터(GSPs) 상세보기
KS C IEC TS 62872 - 산업 시설과 스마트 그리드 사이의 산업 공정 측정, 제어 및 자동화 시스템 인터페이스 상세보기
나의 관심표준 목록에 추가 하시겠습니까?
KS표준
핸드북
