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Vacuum technology — Mass-spectrometer-type leak-detector calibration
| 분야 | ISO/TC 135/SC 6 : Leak testing |
|---|---|
| 적용범위 | Only leak detectors are described which have an integral high vacuum system to maintain the sensing element of the mass spectrometer at a low pressure. Two procedures are outlined, one to determine the minimum detectable leak rate and the other for determination of the minimum detectable concentration ratio. |
| 국제분류(ICS)코드 | 23.160 : 진공공학 |
| 페이지수 | 10 |
| Edition | 1 |
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ISO 3530:1979 | Vacuum technology — Mass-spectrometer-type leak-detector calibration | 1979-09-01 | 표준 |
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