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Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics
| 분야 | TC 113 : Nanotechnology for electrotechnical products and systems |
|---|---|
| 적용범위 | IEC/IEEE 62659:2015(E) provides a framework for introducing nanoelectronics into large scale, high volume production in semiconductor manufacturing facilities through the incorporation of nanomaterials (e.g. carbon nanotubes, graphene, quantum dots, etc.). Since semiconductor manufacturing facilities need to incorporate practices that maintain high yields, there are very strict requirements for how manufacturing is performed. Nanomaterials represent a potential contaminant in semiconductor manufacturing facilities and need to be introduced in a structured and methodical way. |
| 국제분류(ICS)코드 |
07.120 : 나노 기술
07.030 : 물리학. 화학 25.020 : 형상제조 |
| 페이지수 | 12 |
| Edition | 1.0 |
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | IEC/IEEE 62659:2015 | Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics | 2015-09-30 | 표준 |
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